十周年纪念版

测量溶解态和颗粒物污染的 20 余种方法

新版安捷伦 ICP-MS/MS 半导体应用文集包含 20 多种优化的方法，用于测量以下物质中的无机污染：

• 晶圆材料
• 超纯水和过氧化氢
• 制程化学品、酸和溶剂
• 前体和工艺气体

这些方法包括仪器配置和调谐参数、样品和标样制备详细信息以及代表性结果。